Gas Cluster Ion-Solid Surface Interaction and Thin Film Formation
Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第7811号 === 工博第1791号 === 新制||工||1136(附属図書館) === UT51-99-G405 === 京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻 === (主査)教授 山田 公, 教授 松重 和美, 教授 吉川 潔 === 学位規則第4条第1項該当...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | English |
| Published: |
Kyoto University
2014
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/181783 |