イオン注入によるSi中の不純物分布制御とその応用に関する研究
Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 工学博士 === 乙第6903号 === 論工博第2253号 === 新制||工||773(附属図書館) === UT51-89-M75 === (主査)教授 川端 昭, 教授 松波 弘之, 教授 佐々木 昭夫 === 学位規則第5条第2項該当
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Japanese |
| Published: |
京都大学
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/162230 |