Si-ULSIデバイス用Cu配線の低抵抗化と信頼性向上
Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第16798号 === 工博第3519号 === 新制||工||1532(附属図書館) === 29473 === 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 === (主査)教授 白井 泰治, 教授 酒井 明, 教授 杉村 博之 === 学位規則第4条第1項該当...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Japanese |
| Published: |
京都大学 (Kyoto University)
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/157529 |