rfマグネトロンスパッタ法によるLiNbO[3]薄膜の作製とその弾性表面波特性に関する研究
本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである === Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第7460号 === 工博第1752号 === 新制||工||1117(附属図書館) === UT51-98-N82 === 京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻 === (主査)教授 松重 和美, 教授 松波 弘之, 教授 藤田 茂夫 === 学位規則第4条第1項該当...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Japanese |
| Published: |
京都大学
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/154678 |