A Study on the Charging Mechanisms of Electrically Insulated Substrates in Negative-Ion Implantation
本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである === Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第6444号 === 工博第1541号 === 新制||工||1031(附属図書館) === UT51-96-F323 === 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 === (主査)教授 石川 順三, 教授 今西 信嗣, 教授 橘 邦英 === 学位規則第4条第1項該当...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | English |
| Published: |
Kyoto University
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/154669 |