シンクロトロン放射光励起による窒化シリコン薄膜CVDの研究
Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第10452号 === 論工博第3528号 === 新制||工||1187(附属図書館) === UT51-2000-J64 === (主査)教授 松波 弘之, 教授 藤田 茂夫, 教授 橘 邦英 === 学位規則第4条第2項該当
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Japanese |
| Published: |
京都大学
2011
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| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/151515 |