高信頼性強誘電体集積メモリ(FeRAM)技術のためのPZT薄膜物性制御に関する研究
Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第11218号 === 論工博第3739号 === 新制||工||1285(附属図書館) === UT51-2003-H880 === (主査)教授 松波 弘之, 教授 松重 和美, 教授 鈴木 実 === 学位規則第4条第2項該当
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Japanese |
| Published: |
京都大学 (Kyoto University)
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/148911 |