Studies on Microplasmas in Coaxial Dielectric Barrier Discharges and Their Application to Thin Film Deposition at Atmospheric Pressure

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第15383号 === 工博第3262号 === 新制||工||1491(附属図書館) === 27861 === 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 === (主査)教授 髙岡 義寛, 教授 北野 正雄, 教授 藤田 静雄 === 学位規則第4条第1項該当...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Ito, Yosuke
Other Authors: 髙岡, 義寛
Format: Others
Language:English
Published: 京都大学 (Kyoto University) 2010
Subjects:
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/120872