Nano-scale Characterization for Interconnect Integration of ULSI Devices
Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第15378号 === 工博第3257号 === 新制||工||1490(附属図書館) === 27856 === 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 === (主査)教授 田中 功, 教授 白井 泰治, 教授 乾 晴行 === 学位規則第4条第1項該当...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | English |
| Published: |
京都大学 (Kyoto University)
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/120867 |