Sputtring av Ti-Si-C-Ag beläggningar från sammansatta sputterkällor
Idag används guld som kontaktmaterial på elektriska kontakter för lågströmstillämpningar. Guldhar emellertid låg nötningsbeständighet, är dyrt och miljömässigt påfrestande att utvinna. Ettalternativt kontaktmaterial till guld är nanokomposit Ti-Si-C-Ag belagt medlikströmsmagnetronsputtring. Nanokomp...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Others |
| Language: | Swedish |
| Published: |
Linköpings universitet, Tunnfilmsfysik
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-20045 |