Growth and Characterization of Ti-Si-N Thin Films
Utvecklingen inom materialforskningen går mot att framställa avancerade material vilka är skräddarsydda för olika tillämpningar. Detta har medfört att det blir allt mer populärt att belägga ytor med ett eller flera tunna lager med syfte att förbättra materialegenskaperna. Användningsområden för ytbe...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
Linköpings universitet, Tunnfilmsfysik
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-11929 http://nbn-resolving.de/urn:isbn:978-91-7393-882-2 |