Growth and Characterization of Ti-Si-N Thin Films

Utvecklingen inom materialforskningen går mot att framställa avancerade material vilka är skräddarsydda för olika tillämpningar. Detta har medfört att det blir allt mer populärt att belägga ytor med ett eller flera tunna lager med syfte att förbättra materialegenskaperna. Användningsområden för ytbe...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Flink, Axel
Format: Doctoral Thesis
Language:English
Published: Linköpings universitet, Tunnfilmsfysik 2008
Subjects:
Arc
Online Access:http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-11929
http://nbn-resolving.de/urn:isbn:978-91-7393-882-2