Deposição de filmes poliméricos com micro-jatos atmosféricos /

Deposição de filmes poliméricos com micro-jatos atmosféricos /

Orientador: Rogério Pinto Motta === Coorientador: Milton Eiji Kayama === Banca: Mauricio Antonio Algatti === Banca: Steven Frederick Durrant === Resumo: Um dispositivo de microdescarga para deposição à pressão atmosférica foi aplicado para produzir filmes de polímero HMDSO em substratos de vidro. O...

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Bibliographic Details
Main Author: Souza, Daniela Araújo de.
Other Authors: Universidade Estadual Paulista "Júlio de Mesquita Filho" Faculdade de Engenharia (Campus de Guaratinguetá).
Format: Others
Language:Portuguese
Portuguese
Texto em português ; resumos em português e inglês
Published: Guaratinguetá, 2018
Subjects:
Filmes semicondutores.
Polímeros.
Jato de plasma.
Vapor - Deposição.
Filmes finos.
Filmes finos ferroelétricos.
Online Access:http://hdl.handle.net/11449/157379

Internet

http://hdl.handle.net/11449/157379

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