Fonte de potência para síntese de filmes finos por pulverização catódica na faixa de khz /
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| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese Portuguese Texto em português; resumo em português e inglês |
| Published: |
Bauru,
2018
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/11449/154742 |