45nm High-k / Metal Gate process pilot-run procedure improvement

• Main Authors: Chou-ChiehChen, 陳周傑
• Other Authors: Hong-Tzer Yang
• Format: Others
• Language: zh-TW
• Published: 2017
• Online Access: http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/6q57x5

碩士 === 國立成功大學 === 電機工程學系碩士在職專班 === 105