Study on the Reliability of POCl3 Annealed ALD SiO2 for 4H-SiC MOSFETs
碩士 === 國立清華大學 === 電子工程研究所 === 102 === 因申請專利緣故，資料延後公開
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
2014
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/a3m95q |