高頻高Q值熱致動壓阻感測式微機械共振器研製與探討晶格方向對TCf的影響
碩士 === 國立清華大學 === 奈米工程與微系統研究所 === 100
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
2012
|
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/58213483272255769556 |
碩士 === 國立清華大學 === 奈米工程與微系統研究所 === 100
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2012
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