Fault Detection and Classification for Plasma Process in Semiconductor Manufacturing
博士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 99 === 變壓器耦合式電漿(TCP)是一種高密度與低操作壓力電漿技術其利用電磁力去驅使反應氣體離子化，並引起化學反應使得半導體晶圓得到其所需的圖形結構與薄膜生成。變壓器耦合式電漿反應器有高度能力去製造極端微小的結構，其並廣泛使用於半導體晶圓製造中蝕刻不同物質。在先進製程製造中，此種設備的價格往往大約在數百萬美元左右。然而因為其缺少即時蝕刻控制，常常造成無法接受的製程偏移，此偏移可能會導致半導體晶圓的報廢或良率不佳。再者，長時間因設備的故障而產生的低設備妥善率，往往造成投資的浪費與較高的晶片製造成本。因此為了獲得最大製程良...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2011
|
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/40005933627991068926 |