Microwave crystallization of amorphous Si thin films
博士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 99 === 結晶矽薄膜是非常重要的低成本、高性能材料，大量用於如薄膜電晶體，太陽能電池。其中，再結晶型的非晶矽（a- Si）薄膜被廣泛研究和應用在各個領域中。習知之非晶矽膜再結晶法包括固相結晶法、金屬輔助層法與雷射結晶法等。這些技術應用到大面積非晶矽的結晶製造中各有其自身的問題，如加工溫度過高，金屬雜質含量過大，時間太長、成本過高等。本研究目的在於開發微波加熱法，利用微波助吸材，研究其對非晶矽薄膜結晶的效果。 這項研究採用了可聚焦微波的橢圓形微波系統，材料放置在系統中微波場的最大值區域。首先，我們證明了微波照射結合碳化矽微波助吸材...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2011
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/26809967302343767452 |