High Frequency Characteristics in CoFeB Based Soft Magnetic Heterostructures
博士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 97 === 近年來由於高速無線數據產業與多重無線傳輸技術(多模組)之蓬勃發展，整合新穎高頻鐵磁薄膜與深次微米CMOS工藝技術發展高品質、小體積的平面薄膜電感器，將有助於放寬相關射頻電路設計的要求，因此可採用更複雜且完整的系統技術，減少耗電量、生產成本、電路版面積與測試成本，同時提供整體性能和製造良率，甚至是兼顧綠色環保概念的提倡。 本論文之目的主要為開發應用於微波頻段通訊技術之鐵磁薄膜。第一部分，利用超高真空直流/ 射頻濺鍍系統製備新型鈷鐵硼/ 氧化鎂異質結構多層膜系統，不僅具備相當高的電阻率，更表現出符合高頻應用之絕佳軟磁特性...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2009
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/34799606316960944323 |