利用表面鈍化技術改善欄柵太陽能電池之效率
碩士 === 國立清華大學 === 電子工程研究所 === 96 === 本研究欲發展改良型欄柵太陽能電池，結合便宜的蝕刻技術電化學蝕刻法，成功的製作出新型結構之矽基板，具優良的抗反射效果與多的表面積，應可用來當作太陽能電池基板，以提升光的捕捉效應與增加p-n介面的面積。因此，本論文主要討論蝕刻參數對基板形貌的影響。並製作出電池，討論不同基板形貌還有利用HDP CVD 及高溫爐管長成二氧化矽來比較表面鈍化對電池電性的影響。 當電化學蝕刻成長多孔矽時，可觀察到不同條件會形成不同的表面。多孔矽深溝渠結構成功的蝕刻，且分佈均勻，溝槽間距約2µm，深度決定約10µm左右，可避免高溫擴散n+射極時因間距...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/22124578495760186032 |