微型矽材之諧振式陀螺儀調質薄膜設計與製作
碩士 === 國立臺灣大學 === 應用力學研究所 === 92 ===
Main Authors: | , |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Published: |
2004
|
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/65344286381955117519 |
碩士 === 國立臺灣大學 === 應用力學研究所 === 92 ===
Main Authors: | , |
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Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Published: |
2004
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Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/65344286381955117519 |