矽晶圓拋光時溫度及磨粒對表面性質之影響

矽晶圓拋光時溫度及磨粒對表面性質之影響

碩士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 87 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Long-Kuo Chang, 張龍國
Other Authors: Pei-Lum Tso
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1999
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/63814409015811534272
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