矽晶圓拋光時溫度及磨粒對表面性質之影響

矽晶圓拋光時溫度及磨粒對表面性質之影響

碩士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 87 ===

Bibliographic Details
Main Authors:	Long-Kuo Chang, 張龍國
Other Authors:	Pei-Lum Tso
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	1999
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/63814409015811534272

Internet

http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/63814409015811534272