Modeling and Performance Evaluation of Semiconductor Manufacturing Systems Using Timed Petri Nets
碩士 === 國立海洋大學 === 電機工程學系 === 86 === IC晶圓製造包含一些重要的特性，比如平行、資源共享、死鎖、批量和非 同步等等。 派屈網路理論是一數學與圖形化的工具，它正適合做有上述 特性系統的模組和分析。基於派屈網路圖形化的功能，可藉由動態來模擬 實際狀況。在此論文中，我們使用派屈網路來模組和評估實際半導體製造 工廠的薄膜區效能。此工廠主要產品為0.44μm and 0.38μm 4MB DRAMs...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1998
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/46073777711556155076 |