電漿CVD製含鈦薄膜及其性質

碩士 === 大同工學院 === 材料科學工程研究所 === 77 ===

Bibliographic Details
Main Authors: ZHUANG, YU-LU, 莊育祿
Other Authors: CHEN, KE-SHAO
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1989
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/90112249776111093971