電漿輔助化學氣相沈積法成長鎢與矽化鎢應用於VLSI閘極及連線
碩士 === 國立成功大學 === 電機工程研究所 === 73 ===
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/10296182415414664672 |
碩士 === 國立成功大學 === 電機工程研究所 === 73 ===
| Main Authors: | , |
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| Language: | zh-TW |
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/10296182415414664672 |