退火後之離子佈植矽晶體的微細結構變化

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程研究所 === 69 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Wu, Yu-Zhi, 伍育智
Other Authors: Chen, Li-Zun
Format: Others
Language:zh-TW
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/81237905322644210431