Implementación de un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas semiconductoras de bajas temperaturas
Un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas a bajas temperaturas fue implementado empleando un sistema criogénico de ciclo cerrado de helio, un sistema de control de temperatura y un sistema de medición de resistividad. A fin de verificar el sistema implementado, seis cont...
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Format: | Dissertation |
Language: | Spanish |
Published: |
Pontificia Universidad Católica del Perú
2017
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/20.500.12404/8685 |