Diseño, fabricación e instalación de un equipo en alto vacío para preparar muestras de películas delgadas de semiconductores

En el presente trabajo se diseñó, fabricó e instaló un equipo de alto vacío, en el laboratorio de Ciencia de los materiales de la Sección de Física de la Pontificia Universidad católica del Perú. Esto se logró con apoyo del proyecto de investigación Preparation and characterization of amorphous thin...

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Bibliographic Details
Main Author: Gálvez Del Villar, José Armando
Format: Others
Language:Spanish
Published: Pontificia Universidad Católica del Perú 2011
Subjects:
Online Access:http://tesis.pucp.edu.pe/repositorio/handle/123456789/382