MOVPE法を用いたサファイア基板上GaN層の貫通転位密度の低減に関する研究
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) 学位授与年月日:2014-03-25
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | ja |
| Published: |
2014
|
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/20276 |
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) 学位授与年月日:2014-03-25
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| Language: | ja |
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2014
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| Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/20276 |