臭化水素誘導結合型プラズマにおける臭素ラジカルの表面損失過程に関する研究

名古屋大学博士学位論文学位の種類:博士(工学) 学位授与年月日:2014-03-25

Bibliographic Details
Main Author:	飯野, 大輝
Language:	ja
Published:	2014
Online Access:	http://hdl.handle.net/2237/20275

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spelling	ndltd-NAGOYA-oai-ir.nul.nagoya-u.ac.jp-2237-202752014-06-14T04:01:05Z臭化水素誘導結合型プラズマにおける臭素ラジカルの表面損失過程に関する研究飯野, 大輝名古屋大学博士学位論文学位の種類:博士(工学) 学位授与年月日:2014-03-252014-03-25Thesis(ETD)http://hdl.handle.net/2237/20275ja
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臭化水素誘導結合型プラズマにおける臭素ラジカルの表面損失過程に関する研究

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