臭化水素誘導結合型プラズマにおける臭素ラジカルの表面損失過程に関する研究
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) 学位授与年月日:2014-03-25
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | ja |
| Published: |
2014
|
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/20275 |
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) 学位授与年月日:2014-03-25
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| Language: | ja |
| Published: |
2014
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| Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/20275 |