Fabrication of ion sensitive field effect transistors
Transistores de Efeito de Campo Sensíveis a Íons (ISFETs) revolucionaram a tecnologia de sensores químicos e de pH por serem pequenos e compatíveis com tecnologias de microfabricação em grande escala. Nós desenvolvemos uma metodologia para fabricar e caracterizar sensores ISFET para medida de pH no...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | English |
| Published: |
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10183/183198 |