Estudo dos efeitos de implantação iônica, sputtering e deposição em diferentes materiais causados pela implantação iônica por imersão em plasma (IIIP) no interior de tubos condutores
Tratamentos superficiais foram realizados utilizando a implantação iônica por imersão em plasma (3IP), na presença de sputtering e deposição no interior de tubos metálicos visando, em particular, o estudo dos efeitos do sputtering. Entre várias configurações possíveis usando descarga luminescente em...
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
2017
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| Online Access: | http://urlib.net/sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/02.02.15.14 |