Processos litográficos em filmes epitaxiais de compostos IV-VI para medidas Hall e o estudo da dopagem do telureto de chumbo com flureto de bário
A primeira parte do trabalho consistiu na implementação de técnicas de litografia para a fabricação da geometria Hall em filmes IV-VI crescidos sobre substratos de BaF_2 (111). Um estudo prévio da difusão do In em filmes de PbTe mostrou a viabilidade da utilização do In como contato metálico. Na rea...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
2009
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Online Access: | http://urlib.net/sid.inpe.br/mtc-m18@80/2009/08.26.19.26 |