Uma geometria alternativa para detecção do espalhamento de luz LASER por partículas e micro-rugosidades em superfícies de silício.
Neste trabalho é proposta uma geometria alternativa para detecção do espalhamento de luz LASER, com o objetivo de determinar o tamanho e o número de partículas aderidas em lâminas de silício com diferentes acabamentos superficiais. Neste trabalho foi utilizado um modelo teórico que descreve o es...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30092008-145835/ |