Produção e caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro depositados pela técnica sputtering para aplicação em memórias.
Esse trabalho teve como objetivo a produção e a caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro, depositados pela técnica sputtering, para aplicação em dispositivos de memória. Os filmes finos foram produzidos a partir de alvos cerâmicos de telureto (TeO2-ZnO) e fo...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
2017
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Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27092017-092632/ |