Efeito do substrato em transistores SOI de camada de silício e óxido enterrado ultrafinos.

Este trabalho apresenta um estudo do efeito do substrato em transistores SOI de camada de silício e óxido enterrado ultrafinos (Ultra Thin Body and Buried Oxide - UTBB). A análise do trabalho foi realizada baseando-se em modelos teóricos, simulações numéricas e medidas experimentais. Experimenta...

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Bibliographic Details
Main Author: Vitor Tatsuo Itocazu
Other Authors: João Antonio Martino
Language:Portuguese
Published: Universidade de São Paulo 2014
Subjects:
SOI
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25112014-113910/