Caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro depositados pela técnica sputtering.

Caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro depositados pela técnica sputtering.

Este trabalho tem como objetivo a produção e caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro para aplicações em microeletrônica. Filmes finos foram produzidos por magnetron sputtering a partir de alvos de telureto cerâmico e de ouro metálico. Foi desenvolvida metod...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Leonardo Bontempo
Other Authors: Luciana Reyes Pires Kassab
Language:Portuguese
Published: Universidade de São Paulo 2012
Subjects:
Constante dielétrica
Filmes finos
high k
Nanopartícula metálica
Sputtering
Telureto
Dielectric constant
Metallic nanoparticles
Tellurite
Thin films
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18102012-103632/

Internet

http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18102012-103632/

Similar Items