Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio.
O óxido de zinco é um material semicondutor que apresenta alta transparência óptica no espectro visível, alta energia de ligação de éxcitons e piezoeletricidade. Por suas propriedades, ele é utilizado na área de sensores, eletrodos transparentes e dispositivos optoeletrônicos. No entanto, sua ut...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
2015
|
Subjects: | |
Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/ |