Sequência simples de fabricação de transistores SOI nMOSFET.
Neste trabalho é desenvolvido de forma inédita no Brasil um processo simples de fabricação de transistores FD SOI nMOSFET (Fully-Depleted Silicon-On-Insulator) com porta de silício policristalino, para servir como base para futuros desenvolvimentos e, também, com finalidade de educação em microe...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2014
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12122014-153226/ |