Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal.
O presente trabalho tem como objetivo principal a produção e estudo de filmes de nitreto de alumínio (AlN) depositados por pulverização catódica (sputtering) reativa e a fabricação e caracterização de guias de onda tipo pedestal utilizando o AlN como núcleo. Inicialmente, filmes de AlN foram fab...
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2017
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/ |