Desenvolvimento de software para simulação atomística da corrosão anisotrópica do silício por autômato celular.

Desenvolvimento de software para simulação atomística da corrosão anisotrópica do silício por autômato celular.

Nesse trabalho foi desenvolvido um software para simular a corrosão anisotrópica do silício, tendo como base o comportamento desta corrosão em soluções alcalinas (KOH). Esse software foi escrito na linguagem C++ para diversas plataformas e possui dois módulos básicos que são a Biblioteca de clas...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: José Pinto de Oliveira Júnior
Other Authors: Marcelo Nelson Paez Carreño
Language:Portuguese
Published: Universidade de São Paulo 2008
Subjects:
Autômatos celulares
MEMS
Simulação da corrosão do silício
Cellular automata
Etching silicon
Simulation
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06112008-204522/

Internet

http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06112008-204522/

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