Projeto e construção de um sistema de vácuo dedicado a técnica SIMS
O trabalho realizado teve como objetivo principal o projeto, a construção e os testes de um sistema de vácuo dedicado a técnica de Espectrometria de Massa do íon Secundário (SIMS), a ser utilizado na caracterização estrutural de heteroestruturas semicondutoras. O sistema (câmaras e conexões) foi...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
1997
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-160711/ |