Modificações induzidas por íons de alta energia em filmes finos de organosilicones sintetizados por PECVD

Modificações induzidas por íons de alta energia em filmes finos de organosilicones sintetizados por PECVD

Orientador: Mario Antonio Bica de Moraes === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-08-09T10:56:06Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Gelamo_RogerioValentim_D.pdf: 1517991 bytes, checksum: fd93a7ffa508ced1257f9474d2674ae...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Gelamo, Rogerio Valentim
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2007
Subjects:
Filmes finos
Organosilicones
Polisiloxanos
Polisilazanos
Policarbosilanos
PECVD
Irradiação iônica
Thin films
Polysiloxanes
Polysilazanes
Polycarbosilanes
Ion irradiation
Online Access:GELAMO, Rogerio Valentim. Modificações induzidas por íons de alta energia em filmes finos de organosilicones sintetizados por PECVD. 2007. 103p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/278430>. Acesso em: 9 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/278430

Internet

GELAMO, Rogerio Valentim. Modificações induzidas por íons de alta energia em filmes finos de organosilicones sintetizados por PECVD. 2007. 103p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/278430>. Acesso em: 9 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/278430

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