Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD

Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD

Orientador: Mario Antonio Bica de Moraes === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-07-26T03:43:23Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Rangel_ElidianeCipriano_D.pdf: 787803 bytes, checksum: 0b3afb1a1012d775c5984bbf14f7931...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Rangel, Elidiane Cipriano
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1999
Subjects:
Implantação iônica
Polimerização em plasma
Filmes finos
Online Access:RANGEL, Elidiane Cipriano. Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD. 1999. 135p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/278415>. Acesso em: 26 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/278415

Internet

RANGEL, Elidiane Cipriano. Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD. 1999. 135p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/278415>. Acesso em: 26 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/278415

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