Deposição e caracterização físico-química de filmes finos nanoestruturados (nanocompósitos) contendo Ti, C, N e O, Obtidos a partir de um precursor líquido (Ti(OC2H5)4)

Deposição e caracterização físico-química de filmes finos nanoestruturados (nanocompósitos) contendo Ti, C, N e O, Obtidos a partir de um precursor líquido (Ti(OC2H5)4)

Orientador: Fernando Alvarez === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Física Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-08-24T22:24:16Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Antunes_ViniciusGabriel_M.pdf: 3019304 bytes, checksum: 07f935b74d9527a192ce26b38e17afda (MD...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Antunes, Vinícius Gabriel, 1984-
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2014
Subjects:
Filmes finos
Nanocompósitos (Materiais)
PECVD
Thin films
Nanocomposites (Materials)
Online Access:ANTUNES, Vinícius Gabriel. Deposição e caracterização físico-química de filmes finos nanoestruturados (nanocompósitos) contendo Ti, C, N e O, Obtidos a partir de um precursor líquido (Ti(OC2H5)4). 2014. 66 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Física Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/276978>. Acesso em: 24 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/276978

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ANTUNES, Vinícius Gabriel. Deposição e caracterização físico-química de filmes finos nanoestruturados (nanocompósitos) contendo Ti, C, N e O, Obtidos a partir de um precursor líquido (Ti(OC2H5)4). 2014. 66 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Física Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/276978>. Acesso em: 24 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/276978

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