Estudos comparativos dos efeitos da composição do gas de alimentação nas caracteristicas dos filmes DLC depositados por Magnetron Sputtering

Estudos comparativos dos efeitos da composição do gas de alimentação nas caracteristicas dos filmes DLC depositados por Magnetron Sputtering

Orientadores : Sergio Persio Ravagnani, Choyu Otani === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Quimica === Made available in DSpace on 2018-08-04T00:00:21Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Libardi_Juliano_M.pdf: 2395456 bytes, checksum: 403b07e96e95d94fcf446a6...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Libardi, Juliano
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2004
Subjects:
Filmes finos de diamantes
Acetileno
Metano
Online Access:LIBARDI, Juliano. Estudos comparativos dos efeitos da composição do gas de alimentação nas caracteristicas dos filmes DLC depositados por Magnetron Sputtering. 2004. 73fl. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Quimica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/266467>. Acesso em: 3 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/266467

Internet

LIBARDI, Juliano. Estudos comparativos dos efeitos da composição do gas de alimentação nas caracteristicas dos filmes DLC depositados por Magnetron Sputtering. 2004. 73fl. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Quimica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/266467>. Acesso em: 3 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/266467

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