Desenvolvimento e operação de um reator para a deposição de silicio puro a partir de triclorosilano
Orientador : Mauricio Prates de Campos Filho === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas === Made available in DSpace on 2018-07-17T23:15:01Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Gregolin_JoseAngeloRodrigues_M.pdf: 4032635 bytes, checksum: 0942f707bb430...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
[s.n.]
1979
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| Subjects: | |
| Online Access: | GREGOLIN, Jose Angelo Rodrigues. Desenvolvimento e operação de um reator para a deposição de silicio puro a partir de triclorosilano. 1979. 204 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/265486>. Acesso em: 17 jul. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/265486 |