Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico

Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico

Orientador: Mauricio Prates de Campos Filho === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas === Made available in DSpace on 2018-07-15T10:39:13Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Carvalho_JoseWilsonCamilher_M.pdf: 3560560 bytes, checksum: b860a2a8907c06e...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Carvalho, José Wilson Camilher
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 1980
Subjects:
Silício
Online Access:CARVALHO, José Wilson Camilher. Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico. 1980. 95 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/265435>. Acesso em: 15 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/265435

Internet

CARVALHO, José Wilson Camilher. Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico. 1980. 95 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/265435>. Acesso em: 15 jul. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/265435

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